中国光刻机之殇：入华 32 年，ASML 已出货 700 多台，但 EUV 出口中国依然受限

中国需要光刻机，尤其是支持先进制程的高端光刻机。

具体来说，就是 EUV （极紫外光源）光刻机。

目前，世界上能够制造 EUV 光刻机的，只有一家公司，它就是荷兰光刻机巨头 ASML（中文名为阿斯麦）。实际上，作为一家外企，ASML 进入到中国市场已经超过 30 年，可以说是渊源深厚。

但是，由于商业之外的原因，ASML 无法向中国大陆市场出口 EUV 光刻机，尽管它自己其实是非常乐意的。

背后的始作俑者，还是美国。

ASML 与中国市场的深厚渊源

中国大陆市场，一直是 ASML 在全球范围内最重要的市场之一。

以 2020 年为例，ASML 在第二季度总共卖出了 61 台光刻机（包括新设备和二手设备），在第三季度卖出了 60 台——这其中，有超过 24 台是卖给了中国大陆。

按照 ASML 全球副总裁、中国区总裁沈波的说法，2020 年第二、第三季度，公司发往中国大陆地区的光刻机台数超过了全球总台数的 20%。

当然，这些出售到中国大陆的光刻机，不包含 EUV 设备。

对此，沈波表示：

ASML 必须要在遵守法律法规的前提下进行光刻机出口。但我们对向中国出口光刻机是保持很开放态度的，我们对全球客户都一视同仁，只要是我们能够提供的技术和设备，我们都会全力支持。

可以看到，如果排除外界因素的干扰，ASML 自身是很有诚意与中国合作的。

雷锋网了解到，ASML 成立于 1984 年；当时，市面上尚有多家生产光刻机的公司，而 ASML 位居最后一名。不过，仅用 2 年时间，ASML 就研制出了型号为 PAS2500 的晶圆步进式光刻机（Stepper），它可以生产 VLSI 一代的芯片，这使 ASML 在市场上站稳了脚跟，并拥有了一定的名气。

值得一提的是，早在 1988 年，ASML 在进军亚洲之时，就向中国大陆发售了最早一台设备。

经过三十多年的深耕，ASML 在中国大陆已经出售 700 多台光刻机装机，涵盖了 ASML 公司的（EUV 设备之外）的绝大部分类型产品。

不仅如此，在 2000 年天津成立分公司的基础上，ASML 目前在中国设有 12 个办公室，11 个仓储物流中心，2  处技术开发中心（深圳和北京，做计算光刻、量测等开发），拥有 1000 多名员工。

图自：澎湃新闻

此外，ASML 还在中国专门建设了 1 个培训中心，培养光刻行业人才。

正如沈波所言，在遵守法律法规的同时，ASML 全力支持客户和中国集成电路行业的发展，在每个阶段 ASML 和中国集成电路业界都有着很好的合作。

他还表示，ASML 在中国的整体状态越来越好，未来服务会更多样化，对中国的投入也会越来越大。

EUV 光刻机未能出口中国大陆的根本原因

作为全球最大的光刻机企业，ASML 独自享受着 EUV 光刻机技术带来的商业发展便利，但同时也不得不承受大国竞争和冲突下的沉重政治枷锁。

一个典型的案例，就是 EUV 光刻机向中国大陆出口受阻。

EUV 光刻机是光刻机在发展过程中的第五代产品，由于采用了极紫外线，它的最小工业节点到了 22nm-7nm，可以说是世界上最先进的光刻机设备——而这种设备，只有 ASML 能造出来。

在 EUV 技术的研发层面，ASML 也经历了艰苦跋涉的过程。

实际上 ASML 从 1999 年就开始 EUV 光刻机的研发工作，原计划在 2004 年推出产品，但直到 2010 年才研发出第一台 EUV 原型机，2016 年才实现下游客户供货——甚至到 2019 年，第一款 7nm EUV 工艺的芯片才正走向商用。

不过，在美国主导的《瓦森纳协定》（Wassenaar Arrangement）的影响下，这一高端设备对中国大陆的出口受到严格限制——一直到 2018 年才发生转机。

2018 年 4 月，中芯国际向 ASML 订购了一台 EUV 光刻机，价值 1.2 亿美元，预计 2019 年年初交货——后来此事被报道后，ASML 回应称，对包括中国客户在内的全球客户都一视同仁，且向中国出售 EUV 光刻机并没有违反《瓦森纳协定》。

当时，荷兰政府的确向 ASML 发放了出口许可证。

然而，天有不测风云，这场交易从一开始就受到阻碍。根据知情人士的说法，美国立即盯上了这笔交易——接下来的几个月里，美方官员至少四次与荷兰官员开会，讨论可否直接封杀这笔交易。

但雪上加霜的是，2018 年 12 月 1 日，ASML 元件供应商 Prodrive 的一家工厂又发生重大火灾，ASML 当时公开表示，2019 年年初的出货预计将遭递延。

与此同时，美国政府继续就这笔交易进行背后运作。

2019 年元旦前后，美国国防部官员在荷兰驻华盛顿大使馆向对方讨论了这笔交易的 “安全风险”；随后在 2019 年 6 月，美国国务卿蓬佩奥访问荷兰，再次向荷兰政府施加压力，要求停止这笔交易。

值得一提的是，2019 年 6 月 30 日，荷兰政府向 ASML 颁发的出口许可证到期。

2019 年 7 月，荷兰首相 Mark Rutte 访问美国，美国白宫高级官员向他展示了一份情报报告，内容是所谓 “中国获得光刻机的可能后果”。据路透社报道，这次访问后不久，荷兰政府决定不再续签这份许可证——此后 ASML 未出现在荷兰外交部数据库的续签名单上。

此后，关于 EUV 光刻机向中国大陆出口，ASML 的官方说法一直是：公司仍在等待新许可证申请的批准。而针对媒体对于美国施压的报道，荷兰外交部也在 2020 年在 1 月 15 日表示：

在决定是否签发出口许可证时，荷兰政府要权衡经济和安全利益。

由此，ASML 向中国市场出售 EUV 光刻机的计划，就此搁置。

小结

2020 年，随着美国对中国半导体领域的打压，国人对于光刻机的关注度越来越高，而 ASML 也因此受到关注。

但能否向中国大陆出售 EUV 光刻机，的确非 ASML 所能左右。

可以确定的是，对于向中国大陆市场出售光刻机一事，ASML 一直是非常积极的。根据 ASML 中国区总裁沈波的最新说法，ASML 已经向荷兰政府提交出口 EUV 光刻机的申请，目前还在等待荷兰政府的出口许可证。

而荷兰政府，则还在等待美国政府的态度。

当然，目前美国政府的态度也存在不确定性，特朗普眼下必然无心考虑此事，恐怕一切还要等到明年新一届美国政府正式上任之后。

思考题：

如果拜登就任美国总统，他会阻挠荷兰向中国大陆出口 EUV 光刻机吗？

本文参考内容：（雷锋网雷锋网）

• https://www.thepaper.cn/newsDetail_forward_9876589

• https://www.leiphone.com/news/202001/WCH6hoY57Hzwa3pV.html

• https://www.asml.com/en/investors/shares

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