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1．技术参数

。最大曝光面积：160mmX160mm

。曝光波长：405nm

。分辨力：（胶厚 2m 的正胶）

。自动对准精度：±0.7mm

。掩模样片相对运动范围：X：±5mm；Y：±5mm；  ： ±5°

。掩模尺寸：4 英寸、5 英寸、6 英寸、7 英寸

。样片尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、6 英寸

。曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

。具备接触式、接近式、真空曝光三种功能

。照明不均匀性： 4%（150mm×150mm 范围）

。CCD+远心镜头+显示器对准：光学合像，光学最大倍数 400 倍，光学+电子放大 800倍

。调平接触压力通过传感器保证重复

。数字设定对准间隙和曝光间隙

。掩模样片分离间隙：δ=0-500um 连续可调

。最大焦厚：600（SU8 胶，用户提供检测条件）

。光源平行度：1.2º

。曝光能量密度：>20mW/cm 2

2．配置

（1）曝光头

。冷光椭球镜

。XYZ 汞灯调节台

。冷却风扇

。350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（109 个透镜）、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2 4

（2）对准工件台

。样片电动运动台

。样片调平机构，自动完成

。样片自动调焦机构

。承片台 4 个（3 英寸 、4 英寸、5 英寸、6 英寸）

。掩模夹 4 个（4 英寸、5 英寸、6 英寸、7 英寸）

。样片电动抽拉式上下片机构

（3）CCD+远心镜头+显示器对准系统

。光源、电源

。CCD 两组

。6 倍远心镜头 2 对

。21 英寸液晶显示器

（4）样片传输系统

。片盒 8 个（3 英寸 、4 英寸、5 英寸、6 英寸各 2 个）

。片盒升降台 2 组

。光学预对准台

。4 自由度机械臂（双臂）

（5）电控系统

。汞灯触发电源(350W 直流汞灯)

。单片机控制系统5

。 控制柜桌

（6）气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪

（7）其他附件

。真空泵一台（无油泵）

。空压机一台（静音泵）

。管道

注：可接厂房气源系统

（8）技术资料

。 使用维修说明书

3．外形尺寸：1800mm（长）1500mm(宽) 1700mm（高）

4．重量：240kg

5．电源：220V/10A 单相 6

6．功率：≤1800W

7．工作环境：

。气压：1 个标准大气压

。工作温度：22±2℃

。设备储存温度：-40℃—50℃

。洁净度：1000 级以上（建议）