为满足工业部门对高纯水的需要，近年来在工业水处理方面对两项技术进行了重点开发，这些新技术中的每一项都使水处理系统产生了突破性的变化。

 　　在二十世纪60至70年代，工业部门所要求的水质通过化学方式再生的离子交换技术即可得到满足。由于当时的应用面不大，因而对使用化学药剂所带来的长期影响较少有人关注。
 　　在早期的水处理系统中，混床离子交换阶段作为后续处理过程以一个独立的单元置于阳、阴离子交换之后。随着对应用要求的提高，以化学方式再生的离子交换系统显然受到了限制，问题的焦点在于它们漏过的TOC含量较高。与新近的技术相比，在这些系统中使用了大量的化学再生药剂，并要求对化学废水进行连续地处理，而且其操作复杂、运行费用较高。
 　　在二十世纪70年代至80年代，随着人们对减少化学药剂使用意识的增加，人们开始在工业水处理中寻求新的工艺方法，其结果导致了对反渗透技术的新的应用。反渗透在预脱盐系统中使用膜技术替代了阳／阴离子交换单元，但是这种新技术在初期的应用中并不顺利，RO对预处理的要求较高，而作为一个整体的水处理系统则趋向于简化。
 　　由于电子工业对纯水水质（包括降低TOC的含量）的要求越来越高，促使水处理技术不断地向前发展，RO被视为解决的方案。随着预处理过程的提高、更的RO膜被开发出来，使RO在应用初期所遇到的问题逐渐地被克服了。
 　　随着时间的推移，RO逐步为世人所接受，同时诸如逆流再生设计、满室床离子交换及树脂的开发等后续的离子交换技术也得到了相应的发展。由于这些新工艺的广泛应用，费用得到了降低，但RO/混床系统与目前的化学方式再生的离子交换系统相比，仍具有一定的经济性，对于前述的这些技术目前还有一定的需求。
 　　RO／混床系统满足了工业部门对高纯水水质的多方面要求，它们可将不溶性杂质处理至十亿分之几，同时也降低了TOC的含量。无论如何，工业上仍需继续依赖混床技术作为除盐的zui后阶段，对混床阶段化学药剂的使用及相关设施的要求意味着RO所带来的益处未能充分地体现出来，进一步降低化学药剂的使用促成了第二次技术革命。
 　　通常称为EDI的电去离子法40多年前作为非化学工艺首先被开发应用于试验室工作，zui近的开发EDI技术使*消除对化学再生药剂的依赖成为现实，而且它还可以带来一系列别的益处。